米Micron Technologyは11月16日、1β DRAMの量産製造開始セレモニーをマイクロンメモリ ジャパン(旧エルピーダメモリ)の広島工場で実施した。

 Micron Technologyの日本法人としては、最先端メモリ製品の販売およびマーケティングを行うマイクロン ジャパン(高橋康代表取締役社長)と、最先端メモリ製品の開発や設計、生産を担うマイクロンメモリ ジャパン(ジョシュア・リー代表取締役/小野寺忠代表取締役)があり、今回は後者の広島工場/広島開発センター(広島県東広島市)を訪れた。

●1βノードDRAMの量産体制が整い市場のリーダーシップを確立

 Micron Technologyは11月1日に、1βノードDRAMの量産体制が整ったこと、スマートフォンメーカーとチップセット製造パートナー向けに、業界初となる1β(1ベータ)DRAM(LPDDR5X)テクノロジーの認定サンプルを出荷開始したと発表済みだ。同プロセスでの量産は日本で開始し、次は台湾で行うとしている。

 1β DRAM1ダイあたりの容量は16Gbit、データ転送速度は8.5Gbpsで、従来の1αプロセス比で消費電力は最大15%削減でき、メモリ密度は35%以上向上したという。同社は業界に先立って176層のNANDや232層のNAND、1αプロセスのDRAMといった技術を投入してきたが、この1βプロセスは新たなマイルストーンだとした。

・Micron、1βプロセスノードを採用したLPDDR5Xメモリをサンプル出荷

 台湾やシンガポール、米国(マナサス)にも生産拠点はあるが、「広島は開発拠点と生産工場が一緒にあるのがユニークで、開発から出荷までスピーディーに行えるリーディングエッジの製品を市場にいち早く提供できるのが特徴だ」(マイクロンメモリ ジャパン Fab15 広島工場 アドバンストテクノロジー部門 シニアディレクター 野坂耕太氏)という。

 このLPDDR5XのDRAMは、2023年に市場に投入されるスマホに搭載予定だという。今後は、PCなどのクライアント機器や産業機器、データセンターなど幅広い分野で1βプロセスでの製造を行っていく予定だ。

 モバイルデバイスにおいて、写真やビデオなどのデータが日常的に増えており、一方でAIや自動車分野でも多くのデータが生み出されており、これらの拡大するデータのニーズに応えていく必要があるとした。

 業界では微細化に向けてEUV露光(極端紫外線露光)への移行が進行中だが、同社ではコストパフォーマンスが高い独自のマルチパターニングの液浸リソグラフィー技術を継続する。

 EUV露光は、2024年以降の立ち上げを見込んでいる1βの次の「1γ」世代で導入予定だが、日本政府やサプライヤーに働きかけを行っているとのことだ(Micron Technology 首席副社長 グローバルオペレーション担当 マニッシュ・バーティア氏)。

 続いて、工場内部の模様を見ていこう。

●助成金のサポートも助かるが今後も日本には投資を続けていく

 米Micron Technologyは日本国内でのDRAM製造に注力しており、2019年には広島工場に製造棟(B2棟)を増設し、さらに2022年9月には、DRAM生産に最大465億円程度の助成金を交付する計画が日本政府から認定された。

 具体的には、同社の広島工場における生産計画が、日本政府から「特定高度情報通信技術活用システムの開発供給及び導入の促進に関する法律」に基づく特定半導体生産施設整備等計画として認定され、最大約465億円に及ぶ助成金の交付を受ける予定だ。

 バーティア氏は「過去3年間に渡り、広島工場に毎年多額の開発費を投じて1β DRAMの開発を進めてきた。少なくとも今後2年間は年10億ドル以上の投資を行って1β DRAMの量産体制を強化していく」と述べた。

 これを受けてMicron Technology 社長 兼 CEOのサンジェイ・メロートラ氏は「日本政府のサポートには感謝している。約465億円の助成金は1β DRAM生産に対してサポートとなるが、生産設備に必要な資金(約1394億円)の大半は当社自身による投資となる」とした。

 Micron Technologyは11月16日に、DRAMとNANDメモリの供給量を2022年第4四半期比で約2割削減すると発表済みだ。

 メロートラ氏は「今はメモリの需要と供給のバランスが崩れていて厳しい状況にある。当社ではそのような環境に対応すべく手を打っているが、需給のバランスが回復するのはしばらく時間が掛かるだろう」と語り、さらなる設備投資の追加削減も検討しているとした。

●自動化やAI導入が進む1β DRAMの工場内

 多彩なDRAMを製造している広島工場だが、先端プロセスの工場は同社に限らずほぼ撮影が禁止されている。そこで、今回は同社が報道関係者向けに公開した動画の中から、メモリを製造しているクリーンルームの様子をお届けする。