浜松ホトニクスは、次世代パワー半導体材料である窒化ガリウム(GaN)など化合物半導体結晶の品質定量評価装置「ODPL測定装置C15993―01=写真」を開発、8月2日に発売する。内部が反射材料で覆われた積分球を用いることで結晶から全方向に放出される光であるフォトルミネッセンス(PL)を測定し、結晶の構造欠陥や不純物の有無を数値化する。

価格は1100万円(消費税込み)。半導体基板メーカーや大学の研究者向けに初年度6台、3年後14台の販売を見込む。

同装置はPLの強度測定結果から光子に変換した材料吸収エネルギーの確率(IQE)を算出、品質を数値化して評価する。従来一方向のPLを基に評価していたが、光の照射条件で測定結果が異なり、定量性が低かった。

7月14日のパワー半導体と化合物半導体のオンラインイベント「SEMIパートナーサーチ」で紹介する。今後量産ラインでの検査向けに大型ウエハー対応装置を開発する。