住友化学は、韓国に半導体用の最先端フォトレジストとして初の海外工場を新設する。100%子会社の東友ファインケム益山工場に液浸フッ化アルゴン(ArF)レジストの製造プラントを建設し、2024年度上期に稼働する。大阪工場(大阪市此花区)での生産能力増強と合わせて、24年度に最先端レジストの生産能力を19年度比で約2・5倍とする。

韓国では、原料を調合してレジストを生産する最終工程を行う。投資額は、分析や品質評価設備と合わせて百数十億円。大阪工場では既存建屋に液浸ArFと極端紫外線(EUV)レジストの製造設備を増設し、23年度上期に稼働する。2拠点合計の投資額は数百億円。生産拡大を通じ、フォトレジスト(写真)の売上高を25年度に現在の1・5倍、30年度に同2倍へ拡大を目指す。

フォトレジストは半導体の回路パターン形成に用いるプロセス材料。住友化学は現在ArFと液浸ArF、EUV用の最先端レジストを大阪工場で集中生産しているが、急速な需要拡大と事業継続計画(BCP)強化のため、韓国での生産を決めた。韓国では汎用的な半導体レジストを製造しており、早期に生産体制を整えられる。